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2.6:1 宽光谱制版镜头
GPL-UV1031

产品属性:2.6:1 宽光谱制版镜头
物方视场:21mm X 11 mm
镜头焦距/倍率: 2.6X (可微调 0.1%) .调整后锁紧.
产品特点:产品具有衍射极限的成像质量、高分辨力、大视场、畸变极小高性能等优势。
应用范围:适用于微电子生产投影式光刻机等制作工艺。
 
      光刻物镜是微电子生产投影式光刻机的核心部件,随着微电子生产工艺不断向微细化、集成化发展,对光刻镜头的要求越来越高。要求具有衍射极限的成像质量、高分辨力、大视场、畸变极小,其性能直接决定了光刻机的图形传递能力。制造光刻物镜除了设计出一个成像完善的光学系统和精选优质的光学玻璃外,关键在于光学加工、结构设计装配以及相关的测试技术等。
      目前能生产ArF激光机用大口径光刻物镜的只有为数不多的几个跨国公司,例如、日本的Canon和Nikon、荷兰的ASM、美国的SVG等
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GPL-UV1021(左侧)  GPL-UV1031(右侧)产品实物图
 
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GPL-UV1031产品尺寸图
 
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GPL-UV2031B产品尺寸图
 
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