400-118-0235
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1:1紫外制版镜头(121)
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1:1紫外制版镜头(121)

品牌: 高普乐Glopro
型号: GIR-M2000
物方视场: 15mm X 11 mm
镜头焦距/倍率: 1X (可微调 0.1%),调整后锁紧.
产品特点: 产品具有衍射极限的成像质量、高分辨力、大视场、小畸变、高性能等优势。
应用领域: 适用于微电子生产投影式光刻机等制作工艺。
产品概述
功能特点
技术参数
尺寸图


11紫外制版镜头


  光刻物镜是微电子生产投影式光刻机的核心部件,随着微电子生产工艺不断向微细化、集成化发展,对光刻镜头的要求越来越高。要求具有衍射极限的成像质量、高分辨力、大视场、小畸变,其性能直接决定了光刻机的图形传递能力。制造光刻镜头除了设计出一个成像完善的光学系统和精选优质的光学玻璃外,关键在于光学加工、结构设计装配以及相关的测试技术等。


     


基本参数


物方视场:   15mm X 11 mm

放大倍率:   1X

像方尺寸:   15mm X 11 mm

物方数值孔径:   0.15

物,像远心光路

物像方工作距离: > 70 mm

设计波长范围: 395~ 415 nm

透过率: > 85% @ 395nm ~ 415nm



像质要求


所有视场内MTF: > 0.2 @ 400 lp/mm

畸变:   0.01%(全视场+/-4um)

要求物,像远心光路: 主光线倾角<0.1 度

放大倍率误差: 0.03%



其它参数


最大外径: < 70 mm

两端用细牙螺纹

要求放大倍率微调机构稳定可靠.调整后锁紧.

镀增透膜波长范围: 350nm ~ 450nm

透镜长度: < 150 mm

物像共轭距: < 300 mm



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